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采用测量ＬａＡｌＯ３衬底上表面不同位置小面积金属膜与下表面金属膜所构成的小电容容值，通过这些电容容值可得到衬底表面不同位置的等效介电常数，从而测量出ＬａＡｌＯ３衬底介电常数εｒ的分布。实验结果表明所测样品εｒ起伏变化为２．５～３℅，并呈一定花样分布。孪晶畴界面εｒ存在较大的变化。
LaAlO3衬底介电常数ε-r分布测量
【摘 要】
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采用测量ＬａＡｌＯ３衬底上表面不同位置小面积金属膜与下表面金属膜所构成的小电容容值，通过这些电容容值可得到衬底表面不同位置的等效介电常数，从而测量出ＬａＡｌＯ３衬底介电常数εｒ的分布。实验结
【机 构】
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电子器件研究所
【出 处】
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第三届全国超导薄膜和超导器件学术会议
【发表日期】
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1997年期
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