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由于精密超精密镜面磨削是加工硬脆材料的重要手段，在线电解修整（ＥＬＩＤ）磨削技术具有在磨削过程中保持砂轮锐利的能力，并具有高效、高质量加工硬脆材料的特点，在生产中有着重要的意义和广泛的应用前景。ＥＬＩＤ镜面磨削所用的金属结合剂超硬砂轮，在ＥＬＩＤ磨削过程中，在电解磨削液及电解作用下，金属砂轮金属表面离子将电离，在砂轮表面生成氧化膜，氧化膜的质量对ＦＬＩＤ镜面磨削质量有极大的影响，此外，在电解磨削过程中，由于氧化膜不断磨耗与生成，氧化膜的增长具有对磨削深度微补偿作用，这一现象对光学玻璃一类的的硬脆材料的精密镜面磨削质量有重要的影响，该文对这些现象进行了初探。