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ZnO基紫外探测器的新型材料缓冲层设计及表面处理
【机 构】
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中山大学,物理科学与工程技术学院,中国 广州 510275 中山大学,物理科学与工程技术学院,中国
【出 处】
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第13届全国发光学学术会议
【发表日期】
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2013年12期
其他文献
通过磁控溅射镀膜的方法在硅衬底分别沉积ZnO种子层和不锈钢薄膜，并通过刀片划开形成微米级沟道，通过水热生长的方法在沟道中生长ZnO纳米棒阵列，成功制备出生长在氧化锌种子层的侧面，与硅衬底平行的ZnO纳米棒阵列。并且这种方法不受衬底材料的影响，可以使用任何其他材料。这种结构和制备方法为纳米器件的构建开辟了新的方法，具有非常重要的应用价值。