【摘 要】
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研究了等离子渗氮-离子镀类金刚石膜复合处理工艺与未氮化离子镀类金刚石膜处理工艺对H13钢表面性能的影响,研究样品表面的硬度、膜/基结合强度、摩擦性能等.结果表明,经过等离子渗氮+镀类金刚石涂层复合处理的H13钢表面硬度、膜/基结合强度等均优于未氮化镀类金刚石涂层的样品.1采用离子氮化与离子镀DLC的复合处理方法可显著提高表面的硬度，氮化后镀DLC膜的硬度为HV0.025:2175，高于未氮化镀类金
【出 处】
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2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会
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研究了等离子渗氮-离子镀类金刚石膜复合处理工艺与未氮化离子镀类金刚石膜处理工艺对H13钢表面性能的影响,研究样品表面的硬度、膜/基结合强度、摩擦性能等.结果表明,经过等离子渗氮+镀类金刚石涂层复合处理的H13钢表面硬度、膜/基结合强度等均优于未氮化镀类金刚石涂层的样品.1采用离子氮化与离子镀DLC的复合处理方法可显著提高表面的硬度，氮化后镀DLC膜的硬度为HV0.025:2175，高于未氮化镀类金刚石膜的HV0.025:1380.氮化后镀DLC膜使得膜/基结合力得到大幅度提高，H13钢调质镀DLC的膜/基结合力仅为25N;氮化后镀DLC膜的膜/基结合力提高到55N.离子氮化后镀DLC膜的表面摩擦系数为0.12，具有良好的耐磨性能。
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