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电子束曝光机激光定位工作台的分析与研究
【机 构】
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山东工业大学
【出 处】
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第一届中国机电一体化学术会议
【发表日期】
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1988年期
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电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接；它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正，从
该文介绍采和高斯束电子束曝光系统实现纳米结构图形电子束直写的关键技术－电子束邻近效应校正技术。重点介绍电子束在抗蚀剂膜层及基片衬底中的前散射和背散射电子对纳米结构