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以合成玻璃标样ＮＩＳＴ６１２、岩石标准ＪＧ－１ａ及ＪＢ－３的碱熔玻璃为代表，对比了３０个微量元素的激光探针ＩＣＰ质谱的分析精度，进而对内标进行优选。结果表明，不同样品类型所选择的内标稍有不同；不同质量和性质的元素对内标的选择无明显依赖关系，选用样品中基体元素为内标可以获得较好的分析精度，对ＪＧ－１ａ花岗岩类样品，选〈’２９〉Ｓｉ，〈’３０〉Ｓｉ，〈’４３〉Ｃａ，〈’４４〉Ｃａ为内标可获得优于３℅的分析精度，对ＮＩＳＴ６１２合成玻璃样品，选〈’２９〉Ｓｉ，〈’３０〉Ｓｉ，〈’４３〉Ｃａ〈’４４〉Ｃａ为内标，可获得小于３℅的分析精度，对ＪＧ－１ａ花岗岩类样品，选〈’２７〉Ａｌ，〈’２９〉Ｓｉ，〈’４３〉Ｃａ为内标可获得４℅小于５℅的分析精度。