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电子束曝光机的自动装片装置
【机 构】
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科学院电工研究所
【出 处】
：
第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会
【发表日期】
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1997年期
其他文献
介绍了ＤＢ７－亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理，并叙述了该程序的设计思想和具体实现。
主要介绍电子束曝光机中，对束斑进行数字化自动测量的基本原理，介绍束斑自动测量译标记的要求和设计，以及为实现束斑自动测量对数字硬件电路所作的特别设计。
介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描频率。