矢量扫描相关论文
阐述了矢量扫描微立体光刻技术中表面束缚技术及自由表面技术的基本原理；分析了提高空间分辨率的解决措施和研究动态。简要阐述了该......
介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描......
针对微纳米结构的真三维形貌无损检测需求,研制了基于裙摆型针尖(Flared tip)的三维原子力显微镜(3D-AFM)。设计了一种高精度扫描......
本文介绍ＳＤＳ－２电子束扫描系统。...
本文介绍ＳＤＳ－２电子束扫描系统的动态快速补偿。它确保了扫描系统的输出线性，减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辨率为１５Ｂｉｔ，扫描场......
介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术，提出了一个大场中，分割成若干小场的扫描实用算法，完成各小场的定位及高速扫描硬件及......
对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨,并在此基础上确定了函数中的各参数的算法.......
使用改进的高斯圆束的能量分布密度函数,结合矢量扫描作图方式,推导出图形各关键位置的剂量计算公式,并使它们在图形邻近效应校正......
介绍了激光打标系统的计算机控制，以ＹＡＧ振镜式激光打标机为例，说明了主要控制原理和基于矢量扫描方式对图形进行处理的打标方法，并讨论了......
介绍了激光矢量扫描获得平视场的方法；进一步导出了在前置扫描中残余畸变的校正公式，在后置扫描中扩大直线转换器动态聚焦范围的光学......
<正> 1、引言 上一讲已经说明了组成电子光学镜筒的若干部件的特性。这个电子光学分系统加上样品工件台,电子束控制电路,计算机和......
介绍了激光打标系统的结构,并以Nd:YAG振镜式激光打标机为例,分析其控制原理和计算机控制系统的扩展功能,并分别说明基于点阵扫描......
激光扫描投影显示技术是凭借激光准直性和方向性好的特点,利用扫描器件将激光束高速扫描到屏幕的相应位置,利用人眼视觉暂留效应形......
激光标刻机是一种应用广泛的、光机电一体化的、软硬件相结合的微细加工设备。对其它相关技术的发展来说,研制高性能的激光标刻机......
