离子束辅助沉积工艺研究

来源 :第十二届全国超导学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liang672369282
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YBa2Cu3O7-δ (YBCO)高温超导薄膜因其在液氮温区下优秀电学性能的优点,在强电和弱点领域有着广泛的应用.在柔性金属基带上基带上制备YBCO薄膜过程中,为了防止金属原子以及氧原子的互扩散,以及向YBCO的生长提供良好的生长模板,需要在超导层以及金属基底之间引入缓冲层.离子束辅助沉积(IBAD)技术是当今最重要的缓冲层制备技术之一.本研究利用IBAD技术在非晶的Y2O3上制备出高质量双轴织构的MgO缓冲层,研究了不同IBAD的工艺参数(离子能量、离子分子比例、薄膜厚度)对MgO结晶质量的影响.
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