【摘 要】
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本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)，在天然金刚石的(100)、(110)以及(111)晶面上进行了同质外延生长单晶金刚石的研究，分析了这三个晶面上同质外延生长特点。结果
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院,北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430073
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本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)，在天然金刚石的(100)、(110)以及(111)晶面上进行了同质外延生长单晶金刚石的研究，分析了这三个晶面上同质外延生长特点。结果表明，不同的晶面上金刚石的生长速率和形貌显著不同。(110)晶面生长速率最快，表面由一系列大小不同的四面体组成，(100)晶面次之，呈现出排列规整的生长台阶，而(111)晶面生长速率最低，表面光滑平整，(100)和(111)的这种二维生长表面粗糙度明显小于(110)的一维生长表面，而这些特点与其生长模式密切相关。虽然在(111)晶面生长出了质量理想、表面平整的单晶金刚石，但是与(100)和(110)晶面外延生长的单晶金刚石相比，其质量还是较低。
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