【摘 要】
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精密工件台是电子束曝光设备中的重要部件,改进精密工件台技术可以促进电子束曝光技术的进一步发展.本文以超声电机(UltrasonieMotor,缩写为USM)技术为基础,结合超精密定位技术,设计了一个以直线型超声电机为驱动装置的、采用粗微两级定位技术的精密工件台系统,并给出了控制系统的软件流程图.
【机 构】
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中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院电工研
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
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精密工件台是电子束曝光设备中的重要部件,改进精密工件台技术可以促进电子束曝光技术的进一步发展.本文以超声电机(UltrasonieMotor,缩写为USM)技术为基础,结合超精密定位技术,设计了一个以直线型超声电机为驱动装置的、采用粗微两级定位技术的精密工件台系统,并给出了控制系统的软件流程图.
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