论文部分内容阅读
该文主要介绍了利用光学曝光手段加工亚微米特种器件掩模工艺过程中的几个问题和解决方法。
用廉价的光学曝光手段制作亚微米特种器件掩模
【摘 要】
：
该文主要介绍了利用光学曝光手段加工亚微米特种器件掩模工艺过程中的几个问题和解决方法。
【机 构】
：
院微电子中心(北京)
【出 处】
：
第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
：
1999年期
其他文献
该文研究了不同加载速率下铝自由表面的微物质喷射现象。利用人工楔形槽作为自由表面的几何模拟缺陷，为了改变材料自由表面的加载速率，设计了两类斜波发生器系统，并进行了相应的
为减小甚至消除电极损耗对微细电火花加工精度的影响，该文探讨了微细电火花加工过程中，电极端部的损耗规律，分析和研究了电极等损耗微细电火花加工技术的可行性。并给出了电极轴
摘 要：在房屋建筑工程中安全施工是其施工的第一要素，因此需要注意在基础土方开挖施工中其存有许多的不稳定因素影响土方开挖施工的安全性，针对此种情况则必须要采取适当的安全防护施工措施来提升房屋建筑工程整体施工的可靠性。本文通过对房屋建筑工程基础土方开挖施工的特点进行分析来探讨其存有的几点安全问题，立足于此指出了在实际中可以采用的安全防护施工措施，以此来提升基础土方开挖工程整体的安全性及稳定性。 关键
摘 要：随着电力企业投资管理制度的改变，价值财务管理成为了电力企业投资管理的主要部分。研究电力企业投资投资价值财务管理特性，形成良性机制，对整个电力企业投资运营具有十分重要的意义。 关键词：电力企业投资；价值管理 1.电力投资决策 企业投资价值财务管理是指为电力企业投资能够在经济寿命周期内高效、充分地发挥效益，而必须筹集足够的资金对电力企业投资在运营过程中的耗费进行及时、足额的补偿的财务管理
该文内容包括微细电火花加工装置的开发和加工工艺技术研究。在开发出由蠕动式微进给机构，微小能量放电电源、微小电极线放电磨削制作机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控
摘 要：现代建筑的功能和结构日益复杂，对建筑整体质量提出了更高要求，这也使得围护结构和主体结构之间的矛盾越来越多，不仅影响了施工进度，而且也不利于保障建筑工程的稳定与安全。主体结构与围护结构一体化施工技术，可以通过科学的设计和合理的搭配，提高围护结构与主体结构的协调性，避免了施工过程中交叉作业、相互干扰的问题。文章首先对主体结构与围护结构一体化施工的优势进行了概述，随后就具体施工中的技术要点展开了
摘要：随着我国经济的快速发展，建筑行业迎来了快速发展的契机，绿色建筑成为城市现代化建设的重要标志，现在我国面临着生态系统带给我们重大的挑战，气候变暖、空气浑浊、环境异常等情况都需要我们关注，建筑业是给环境带来危害的行业，节能环保的施工技术在高层建筑施工中越来越重要，本文对节能环保背景下高层建筑施工技术进行分析，希望实现建筑行业的节能效果。 关键词：节能环保；高层建筑；施工技术；创新 一、绿色节
摘 要：我国的矿山行业也在近年中有了非常大的发展和提升。在不断扩建以及改造的过程中，对于大型设备的需求量较大。在这些大型设备中矿山球磨机就是一个非常重要的机械设备。对于矿山球磨机而言，有很多的结构部件，这些结构部件通常会有不同的用途和特征，本文主要针对矿山球磨机机械结构的特征进行简要的分析。 关键词：矿山球磨机 机械结构 气动离合器 喷射润滑 前言： 球磨机在未来的发展过程中主要有两个主要发
摘 要：高原地区的海拔较高，气候环境特殊，对于航空保障装备的技术性能来说，是一个独有的挑战。人们常把高原称作"大地的舞台"，高原地区的气候环境特点特殊，本文结合航空保障装备的组成部分，从动力系统、电气系统、气源系统以及液压系统几个方面对高原环境中对保障装备具有影响的主要因素，寻求相应的改进措施，为高原环境下对航空保障装备的设计提供更为可靠的理论参考。 关键词：高原环境；航空保障装备；影响；对策