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会议论文
LTCC表面银基导体电镀和化学镀
LTCC表面银基导体电镀和化学镀
来源 :第十七届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a13315157220
【摘 要】
:
本文结合国外文献资料以及笔者的研究,对LTCC表面银导体电镀和化学镀Ni-Au工艺进行探讨,分析了LTCC基板材料、银导体材料的抗镀液侵蚀性,化学镀和电镀Ni-Au层厚度对导体膜层
【作 者】
:
董兆文
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第43研究所,合肥 230022
【出 处】
:
第十七届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
:
2011年期
【关键词】
:
LTCC
表面
银导体
电镀
化学镀
文献资料
键合拉力
基板材料
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本文结合国外文献资料以及笔者的研究,对LTCC表面银导体电镀和化学镀Ni-Au工艺进行探讨,分析了LTCC基板材料、银导体材料的抗镀液侵蚀性,化学镀和电镀Ni-Au层厚度对导体膜层键合拉力、金锡焊接拉力以及可靠性的影响。
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