【摘 要】
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空间技术对MEMS技术的需求主要体现在两个方面:首先是探索以MEMS技术为代表的微米/纳米技术在航天领域的应用,这方面的研究更多地体现MEMS技术对航天领域的技术推动作用,其成
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空间技术对MEMS技术的需求主要体现在两个方面:首先是探索以MEMS技术为代表的微米/纳米技术在航天领域的应用,这方面的研究更多地体现MEMS技术对航天领域的技术推动作用,其成果主要体现在研制若干适合于航天领域使用的MEMS器件;其次主要以"虚拟卫星"和"网络卫星"为研究背景,介绍了采用一体化设计与系统集成的研究方法研制出的先进MEMS卫星.介绍了国内外微型航天器和MEMS的发展概况,重点分析了MEMS技术在微型航天器中的应用,指出了其发展前景,并介绍了目前我国在航
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