【摘 要】
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ESD波形的随机性给计量校准和结论判断带来了一定问题,测得了某ESD模拟器的400条接触放电波形,使用统计方法进行研究,并且定义了衡量波形离散程度的新参量：组内波形误差EW
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ESD波形的随机性给计量校准和结论判断带来了一定问题,测得了某ESD模拟器的400条接触放电波形,使用统计方法进行研究,并且定义了衡量波形离散程度的新参量：组内波形误差EWin和组间波形误差EWb,还分析了峰值电流,电流上升时间tr,30ns电流和60ns电流,60ns内能量释放的平均值、标准差和概率分布。并且分析了若干参量间的线性相关性,基于这些结果,给出了计量中引入统计方法的建议。此外,本文就波形指标的随机性给出了若干理论解释。
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