【摘 要】
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采用摩擦磨损试验机考察了几类复合硬质薄膜的摩擦磨损行为,结果表明:复合薄膜的摩擦磨损性能均极大提高.CrN基复合薄膜的硬度与抗磨损性能均较CrN薄膜有极大提高;Al/AlN纳米多层膜具有软质Al层和硬质AlN层的交替结构,在摩擦过程中,硬质AlN层可以起到良好的承载作用,软质层可以起到良好的减摩作用,有效的降低了Al/AlN纳米多层膜的摩擦和磨损,具有非常优异的摩擦学性能;Ti-DLC薄膜与Si3
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所 广州有色金属研究院
【出 处】
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2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会
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采用摩擦磨损试验机考察了几类复合硬质薄膜的摩擦磨损行为,结果表明:复合薄膜的摩擦磨损性能均极大提高.CrN基复合薄膜的硬度与抗磨损性能均较CrN薄膜有极大提高;Al/AlN纳米多层膜具有软质Al层和硬质AlN层的交替结构,在摩擦过程中,硬质AlN层可以起到良好的承载作用,软质层可以起到良好的减摩作用,有效的降低了Al/AlN纳米多层膜的摩擦和磨损,具有非常优异的摩擦学性能;Ti-DLC薄膜与Si3N4、钢、Ti-DLC对摩时,均表现出良好的耐磨减摩性能,但摩擦系数与磨损率各不相同。
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