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该言法具有其它仪器分析方法无法达到的技术参数，可作为冶金 半导体工业中超高纯金属和半导体材料中痕量杂质元素的定量分析方法。
辉光放电质谱仪直接测定超高纯镉中的痕量杂质元素
【摘 要】
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该言法具有其它仪器分析方法无法达到的技术参数，可作为冶金 半导体工业中超高纯金属和半导体材料中痕量杂质元素的定量分析方法。
【机 构】
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物理研究所
【出 处】
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第十二届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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1996年期
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