【摘 要】
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研究不同的晶体生长界面形状对晶体生长过程的影响有助于优化热场结构和铸锭工艺、改善杂质分凝过程及多晶硅晶体质量。文中描述了几种不同铸锭炉中的晶体生长界面形状，并对相关温度场分布及熔体流动模式进行计算机仿真模拟，结果认为，平坦界面附近的熔体流动较弱，凹界面上方易形成漩涡，都会对杂质分凝和晶体质量造成负面影响。但与此同时，为了获得竖直的晶粒生长方向，又希望生长界面整体较平。因此，在两者之间取得平衡，可能
【出 处】
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SNEC 第九届(2015)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛
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研究不同的晶体生长界面形状对晶体生长过程的影响有助于优化热场结构和铸锭工艺、改善杂质分凝过程及多晶硅晶体质量。文中描述了几种不同铸锭炉中的晶体生长界面形状，并对相关温度场分布及熔体流动模式进行计算机仿真模拟，结果认为，平坦界面附近的熔体流动较弱，凹界面上方易形成漩涡，都会对杂质分凝和晶体质量造成负面影响。但与此同时，为了获得竖直的晶粒生长方向，又希望生长界面整体较平。因此，在两者之间取得平衡，可能是获得高品质多晶硅的实验方向之一。
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