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一种新型的双极高功率脉冲磁控溅射技术
【机 构】
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西南交通大学材料科学与工程学院,材料先进技术教育部重点实验室,四川成都,610031美国伊利诺大学厄巴纳香槟分校,等离子体材料作用中心,美国伊利诺伊州,61801
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
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