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飞秒激光由于其极高的光场强度、快速的加工过程，在微纳结构、器件的制作，工业生产领域都有着越来越广泛地应用。单束飞秒激光诱导周期性表面微纳结构是最近发现的一个很有意义的现象，它对于快速表面微纳结构改性以及深刻认识超高能激光与材料的相互作用的物理机制都有着很积极地作用。但是在目前的已发表的研究中，周期性结构的大面积制备、结构成型过程中的统一物理模型的建立都无法得到实现，这也在一定程度上大大阻碍了飞秒激光诱导微纳结构的应用。在这里，我们通过光场裁剪和相位掩模板辅助的方法，实现了大面积复合微纳结构的制备，并有望在抗反射、自清洁等领域得到广泛地应用。