准同型相界处无铅薄膜(Na0.5Bi0.5)0.94TiO3–Ba0.06TiO3的铁电、压电性能

来源 :中国力学学会2009学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:basilmhb
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处于准同型相界(MPB)附近的(Na0.5Bi0.5)0.94TiO3–Ba0.06TiO3 (NBT-BT6)无铅薄膜材料,可能具有优异的压电性能,因而被作为一种具有潜在应用前景的无铅压电薄膜材料而得到广泛关注。本文采用金属有机物分解法(MOD)在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了NBT-BT6薄膜,利用铁电分析仪和压电力显微镜分别测试了薄膜的铁电和压电性能。研究表明:此薄膜具有典型的压电‘蝴蝶曲线’和优良的有效压电系数d33(~95.42 pm/V)。该环境友好的无铅压电薄膜的压电性能与当前广泛使用的锆钛酸铅(PZT)薄膜的压电性能相当,因此有可能作为PZT薄膜的替代材料。
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