局部双轴应变SiGe材料的生长与表征

来源 :第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jaczolo
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本文研究了一种基于MBE的局部双轴应变SiGe外延生长技术。图形窗口边界采用了多晶Si侧墙,窗口内多层SiGe薄膜分段温度生长。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)X射线双晶衍射(XRD)、透射电镜(TEM)与位错密度测试,表明双轴应变SiGe薄膜厚度、Ge组分得到精确控制,垂直应变度达到1.175%,其表面粗糙度为0.45nm,位错密度为1.2×103cm-2,由于图形窗口边界采用多晶Si侧墙,窗口边缘处未出现位错堆积。实验证实,采用该技术生长的局部双轴应变SiGe薄膜质量良好,基本满足SiGe BiCMOS器件制备要求。
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