将压敏电阻用于低真空测量的研究

来源 :中国真空学会真空科学技术研讨会暨真空高新技术学术报告会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:as16188
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该文研究了将压敏电阻用于低真空的测量,包括规管和电路,研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为10<’2>~10<’5>Pa,性能好,价格便宜。此文介绍该真空计的原理结构与特性。
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