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八十年代以来，微机械加工技术受到人们的重视和研究，取得了很大进展，该文对微机械技术的发展，及其对科学、技术各个领域的重要影响做了简要的介绍，并列举了采用微机械加工技术制造的传感器，作动器在流体力学试验中的应用。
微机械加工技术及其应用
【摘 要】
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八十年代以来，微机械加工技术受到人们的重视和研究，取得了很大进展，该文对微机械技术的发展，及其对科学、技术各个领域的重要影响做了简要的介绍，并列举了采用微机械加工技术制造
【机 构】
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工业大学(陕西西安)
【出 处】
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第三届第四次全国气动实验测控自动化技术交流会
【发表日期】
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1997年期
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