【摘 要】
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本文在分析研究基于MEMS(微机电系统)工艺的微流控芯片加工过程基础上，介绍了一种基于数控雕刻机的简捷微流控芯片制作方法。结合数控雕刻机加工模式中平行粗加工和等高线细加工的优点，设计并提出了一种不对称路径加工方法，有效地避免了以往微结构在加工过程中出现断裂、扭曲及其附近出现大量残渣堆积等现象，成功加工出了宽度和高度都在十几微米的PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)微结构。随后以该微结构为模板，采用生物相容
【机 构】
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沈阳理工大学;中国科学院沈阳自动化研究所 中国科学院沈阳自动化研究所
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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本文在分析研究基于MEMS(微机电系统)工艺的微流控芯片加工过程基础上，介绍了一种基于数控雕刻机的简捷微流控芯片制作方法。结合数控雕刻机加工模式中平行粗加工和等高线细加工的优点，设计并提出了一种不对称路径加工方法，有效地避免了以往微结构在加工过程中出现断裂、扭曲及其附近出现大量残渣堆积等现象，成功加工出了宽度和高度都在十几微米的PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)微结构。随后以该微结构为模板，采用生物相容性良好的PDMS(聚二甲基硅氧烷)材料进行浇铸与固化、等离子体键合，制作出了管道宽度和深度可达十几微米的微流控芯片。相对于传统基于MEMS工艺的微流控芯片加工过程(甩胶、烘干、掩膜、曝光、显影、腐蚀等工艺)，该方法简捷易行，整个加工过程仅需要3小时。最后通过细胞生理特征信号检测平台检验了该微流控芯片的畅通性与密封性，实验结果证明：在注射泵驱动下细胞悬浮液可以有效流过微通道，芯片畅通性与密封性良好。这种基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法可极大减少微流控芯片的加工时间和成本，为实验室微流控芯片的结构设计和前期原理验证提供了一种简捷有效的途径。
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