【摘 要】
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梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器,通过静电力反馈构成力平衡式的闭环系统。为了满足稳定性、快速性等要求,需要采用校正电路。但在工程中,由
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系北京100084
【出 处】
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中国航空学会控制与应用第十三届学术年会
论文部分内容阅读
梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器,通过静电力反馈构成力平衡式的闭环系统。为了满足稳定性、快速性等要求,需要采用校正电路。但在工程中,由于微机械加工工艺不稳定,造成微机械表头性能具有较大的离散性。本文根据控制理论结合工程试验,给出了针对不同参数进行表头校正电路设计的方法。其主要内容是通过微机械表头的转角频率和低频增益对敏感结构进行分类校正,使系统在满足带宽的前提下在全量程范围内具有要有良好的稳定裕量。并且为了适应工程应用,电路采用两级运放的简单形式,为电路冗余设计提供了方便。通过较多数量的试验验证,此种方法对闭环系统的稳定性、带宽有很好的控制作用。
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