【摘 要】
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片上温度传感器对于超大规模集成电路的温度管理系统尤为重要。与传统的基于电压域的温度传感器相比,基于时间域的温度传感器更适于作为片上温度传感器。但由于电压对晶体管传输特性的影响很大,现有的时域温度传感器在宽电压范围内不能有效降低电压变动带来的误差。而Io T对于低功耗的需求极为强烈,工作电压的降低可以有效减少芯片的整体功耗。因此,设计研究可在宽电压下工作的时域温度传感器非常迫切。本文首先分别从架构级
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片上温度传感器对于超大规模集成电路的温度管理系统尤为重要。与传统的基于电压域的温度传感器相比,基于时间域的温度传感器更适于作为片上温度传感器。但由于电压对晶体管传输特性的影响很大,现有的时域温度传感器在宽电压范围内不能有效降低电压变动带来的误差。而Io T对于低功耗的需求极为强烈,工作电压的降低可以有效减少芯片的整体功耗。因此,设计研究可在宽电压下工作的时域温度传感器非常迫切。本文首先分别从架构级和电路级出发,通过量化不同振荡环频率的比值进行温度的度量,提出了基于分段补偿的宽电压时域数字温度传感器。在采样振荡环的延时单元中加入了输出负载晶体管以提升负载电容,其负电压系数可抵消频率比值中本身存在的正电压系数,达到高电压下电压补偿的效果。针对低电压下频率比值的高电压系数,设计了参数不同的被采样振荡环,通过将两个频率比值相加来降低传感器在低电压区域内的电压敏感度。之后为进一步降低传感器的电压敏感度,在此结构的基础上提出了基于多环互补的宽电压时域数字温度传感器。该结构在高低电压区域内使用了不同的采样振荡环,调整了各振荡环中延时单元负载晶体管的参数。在高低电压区域内分别得到两个具有相反电压系数的频率比值,分别将二者相加以抵消电压变化对传感器输出数值所带来的影响,从而获得宽电压下的低电压敏感度。本文基于SMIC 40nm工艺,在Cadence Virtuoso环境中进行了传感器模拟部分的搭建。之后,在数字物理设计流程中集成,完成了整体传感器的版图实现。仿真结果表明,本结构的时域数字温度传感器的面积仅为0.014mm2,在测量温度为0℃~100℃间的最大测量误差为±0.7℃。在功耗为16.7n J时,测量时间为42。在0.7V~0.9V间的平均电压敏感度为0.011℃/m V。在0.9V~1.1V间的平均电压敏感度为0.029℃/m V,相比于现有传统结构提升了14.7%。
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