薄膜晶体管器件自动化电学表征系统的研究

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随着薄膜晶体管(thin film transistor,TFT)器件在平板显示以及其它大面积电子方面的广泛应用,有关TFT器件技术的研究获得越来越多的重视。在TFT器件的研究过程中,必须通过测量系统的量测获得其准确的特性参数,才能掌握该TFT的工作特性。因此,TFT的测量系统在其研究过程中非常重要。TFT电学表征所需测试的最低电流信号在皮安(pA:10-12A)数量级。而且,为获得完整的特性信息,测量过程中需要多种偏置方式。因此,理想的测试系统要具备低漏电流、高可靠性、多测试模式切换方便以及易于安放、低成本等特征。目前常用的基于探针台的测试方法,操作繁琐,测量效率低,而且漏电流低的高质量探针台价格高昂、体积和重量较大。本课题通过优化印刷电路板(printed circuit board,PCB)的设计,制作出满足TFT低电流测试要求的电路板,然后选择不引入干扰的电控开关器件,设计完成一套可由电脑程序控制的TFT自动电学测试系统。整个测试系统由测试夹具、自动控制模块、电脑及源表组成。该系统相对传统的探针台测试系统,具有更高的稳定性;可同时量测多个器件,更加高效,同时,成本低廉、体积小。利用该系统获得的测试效果可与目前常用的探针台测试方式相比拟。该系统将能为TFT器件技术的研究提供低成本、方便而可靠的测试方案。
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