【摘 要】
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太阳能电池板表面纹理是影响光电转换效率的关键因素之一,通过对太阳能电池板表面微观形貌的测量,对比不同的表面纹理参数与太阳能电池板光电转换效率之间的关系,可以确定与光电转换效率相关性较高的参数,用于指导太阳能电池的生产,有助于提高太阳能电池板光电效率。本文介绍了所设计的一套基于垂直扫描白光干涉技术的表面形貌测量仪,适用于太阳能电池板表面纹理测量。该形貌测量仪结构原理是通过压电陶瓷驱动柔性铰链机构带动
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太阳能电池板表面纹理是影响光电转换效率的关键因素之一,通过对太阳能电池板表面微观形貌的测量,对比不同的表面纹理参数与太阳能电池板光电转换效率之间的关系,可以确定与光电转换效率相关性较高的参数,用于指导太阳能电池的生产,有助于提高太阳能电池板光电效率。本文介绍了所设计的一套基于垂直扫描白光干涉技术的表面形貌测量仪,适用于太阳能电池板表面纹理测量。该形貌测量仪结构原理是通过压电陶瓷驱动柔性铰链机构带动Mirau干涉显微镜垂直移动,改变Mirau干涉显微镜中参考光束和被测光束的光程差,实现对被测表面纹理的
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