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纳米TiO_2因其安全、无毒、成本低、无二次污染等优点，且具有抗菌、消毒功能，因而得到了越来越广泛应用。特别是纳米TiO_2薄膜及TiO_2复合薄膜在紫外光作用下可以实现有机物的光催化降解，在污染治理、室内空气净化、自清洁涂层等方面有着广阔的应用前景。本文研究了以射频磁控溅射工艺制备具有较高光催化活性的纳米TiO_2薄膜、纳米M／TiO_2薄膜的工艺过程。并利用X射线光电子能谱(XPS)、X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜进行系统分析。以