【摘 要】
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随着激光制造技术的不断发展,对激光复合制造的需求越来越强烈。激光复合制造对难加工材料和精细复杂结构的制造能力与品质远高于传统制造技术,是制造学科新技术和新生长点的突破点。在激光复合制造的加工过程中,测量反馈是保证加工质量的关键,为实现对所加工精密表面的高分辨测量,具有原位高分辨特点的检测仪器变得至关重要。原子力显微镜(AFM)具有高分辨三维测量能力,在表面检测领域有着广泛的应用。但AFM系统的扫描
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随着激光制造技术的不断发展,对激光复合制造的需求越来越强烈。激光复合制造对难加工材料和精细复杂结构的制造能力与品质远高于传统制造技术,是制造学科新技术和新生长点的突破点。在激光复合制造的加工过程中,测量反馈是保证加工质量的关键,为实现对所加工精密表面的高分辨测量,具有原位高分辨特点的检测仪器变得至关重要。原子力显微镜(AFM)具有高分辨三维测量能力,在表面检测领域有着广泛的应用。但AFM系统的扫描范围较小,可集成光学干涉或机器视觉等技术从而实现跨尺度测量。目前大多数AFM系统采用样品扫描方式,无法实
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