多孔硅是在单晶硅基础上衍生出的一种新型的半导体材料,不仅继承了单晶硅的多种特性,而且与单晶硅相比具有大比表面积,可调孔隙率等独特性质,因此在诸多领域均有广泛应用。目前,利用多孔硅独特的物理和化学特性,制备以多孔硅为基底的纳米复合材料已被广泛研究,氧化锌是一种应用潜力巨大的半导体材料,将多孔硅与氧化锌纳米材料相结合,氧化锌可以有效钝化多孔硅表面,提高多孔硅表面稳定性,多孔硅基底与其它固态基底相比具有更高的负载能力,并且两种材料界面交接处形成的异质结可以进一步拓宽应用领域。本文采用实验结合仿真的方法,对多孔硅-氧化锌薄膜和多孔硅-氧化锌纳米棒复合材料进行了系统的研究,揭示了不同涂膜层数和退火温度对多孔硅-氧化锌薄膜,不同氧化锌纳米棒生长溶液浓度对多孔硅-氧化锌纳米棒形貌以及光学性能的影响,并通过仿真软件FDTD solution对实验结果验证分析。本论文的研究内容如下:首先,采用阳极腐蚀法制备出多孔硅基底,然后通过溶胶-凝胶法在多孔硅孔壁以及孔底制备氧化锌薄膜。系统的研究了在该方法下不同制备参数（涂膜层数,退火温度）对复合材料结构和光学性能的影响。其次,验证了通过油浴化学反应法可在硅基板上制备良好生长形貌的氧化锌纳米棒,提出了一种在多孔硅孔内制备氧化锌纳米棒的方法,通过对制备样品晶体结构和表面形貌分析,得出生长溶液浓度对复合材料结构的影响规律,为多孔硅与不同维度氧化锌纳米材料结合奠定基础。最后,通过测试样品的吸收光谱和光致发光图谱,分析生长液浓度对多孔硅-氧化锌纳米棒复合材料光学性能的影响。此外,根据实验结果使用仿真软件FDTD solution建立不同仿真模型,通过对比多孔硅、多孔硅-氧化锌薄膜,多孔硅-氧化锌纳米棒的光学性能,验证实验结果。本文系统的研究了通过阳极腐蚀法与溶胶-凝胶法结合制备多孔硅-氧化锌薄膜过程中实验参数的影响,提出了在多孔硅孔内制备氧化锌纳米棒的实验方法,为多孔硅-氧化锌纳米材料在光学领域的应用提供了理论基础。