真空紫外光（VUV）催化技术是一种条件温和的污染物去除技术,它在水和空气净化方面具有很大的应用前景。同时,纳米贵金属修饰的TiO₂作为一种新型高效的光催化剂是近年来国内外研究的热点,但尚未报道应用于真空紫外光催化体系。本文制备了Au、Pd、Pt等纳米贵金属修饰的TiO₂薄膜催化剂以及不同种类的Mn修饰的TiO₂薄膜,并用于真空紫外光催化体系下分解室内空气中低浓度甲醛,考察不同催化剂对甲醛降解以及VUV副产物—臭氧的同步分解效果,这对于促进真空紫外光催化在室内空气净化中的应用具有重要的意义。首先,采用低温静电吸附法在TiO₂薄膜表面负载了Au、Pt和Pd等纳米贵金属颗粒,贵金属粒径<5nm,均匀分散在TiO₂薄膜表面。催化剂表面Au和Pt颗粒均以0价态存在,Pd则以PdO形式存在。TiO₂表面负载贵金属颗粒后,可提高甲醛的去除率,同时还能显著降低VUV系统中的臭氧浓度,并且催化剂性能在测试的35h内保持稳定。同时考察了催化剂在暗态下的反应,结果表明不同纳米贵金属颗粒与臭氧反应的机理不同。研究了相对湿度和Pd负载量对Pd/TiO₂真空紫外光催化降解甲醛和分解臭氧的影响。在实验范围内,甲醛的去除率随相对湿度的增加逐渐增大;尾气中臭氧的去除率随相对湿度的增加而达到一个最大值并保持稳定。Pd负载量过大不利于甲醛的去除;臭氧去除率随Pd负载量的增大先增加后降低。考察了负载Mn的TiO₂催化剂对真空紫外光催化降解甲醛和分解臭氧的效果。Mn离子掺杂方式不利于甲醛和臭氧去除的同步提高。MnO_x/TiO₂、MnO_x/Pd/TiO₂和纳米MnO₂/Pd/TiO₂在对甲醛保持很高的降解率的同时可显著提高臭氧的分解效率,其中纳米MnO₂/Pd/TiO₂对臭氧的去除性能最为稳定,而MnO_x/TiO₂和MnO_x/Pd/TiO₂在反应20h后趋于稳定。MnO_x/TiO₂和MnO_x/Pd/TiO₂在暗态下对臭氧有明显去除,但催化剂会逐渐失活,而VUV可抑制MnO_x催化剂的失活。