MEMS静电驱动系统中非局部问题研究

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【摘要】

：

在微机电系统(MEMS)装置设计方面，一种很重要的方法被称为静电驱动。它是在一个电控可调电容器上进行研究，使用两个基本物理原理：静电库仑定律和弹性形变关系。本文介绍了静电驱动的质量弹簧模型，和更一般的静电驱动结构-静电弹性系统。本文主要讨论了带有Navier边界条件的静态平衡方程该方程模拟了一个简单的MEMS系统中的静电驱动装置，研究了该装置中带电极板在固定边界条件下的偏转情形。本文详细的介绍了静

【作者】

：

江文娟

【机构】

：

华东师范大学

【发表日期】

：

2008年05期

【关键词】

：

微机电系统静电驱动吸合电压

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