汽车雪崩整流二极管研制

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汽车雪崩整流二极管应用于汽车交流发电机整流电路中,正常工作时是一个普通整流二极管,将交流电变成直流电;当汽车电路出现故障产生瞬态电压时,雪崩整流二极管反向导通,此时电压也被钳位在雪崩整流二极管最大击穿电压附近,从而避免输出过高电压损坏电路中的重要电子部件。汽车雪崩整流二极管工作在恶劣多变的环境中,使得此类二极管在性能要求上比普通二极管更为严格,需要良好的高温特性、苛刻的热疲劳能力、高的反向浪涌能力,这使得汽车雪崩整流二极管在制造工艺上要不同于普通的整流二极管。为了得到性能优良的汽车用二极管,本文研究了二极管雪崩特性、反向浪涌能力及热疲劳能力,同时对二极管进行理论设计,把缓变结和突变结公式结合起来,计算出设计电压所需选取的电阻率、结深等工艺参数。结合实际的生产条件,提出了合理的汽车雪崩整流二极管制造工艺,并得出以下结论:1、原晶片选取电阻率尽量低的N型晶片,扩散足够长的时间得到所需的电压,这样制造出的二极管有良好的反向浪涌能力。2、制程中减少应力的引入,避免使用普通二极管工艺中的吹砂去硼硅玻璃的方法。吹沙造成硅片表面机械损伤,给二极管带来不可弥补的内伤。所以功率器件应该采用电解法代替此项工艺。3、在高温磷硼扩散过程中,由于杂质原子与硅原子大小不同,造成很大的内应力,使晶片变形严重。扩散过程中的慢降温和退火可有效的减少内应力。
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