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本文阐述了粒子模拟软件UNIPIC中MCC计算方法及实现，并采用该软件模拟了0.14THz相对论返波管和表面波振荡器中电子束与氩气相互作用产生等离子体的过程。研究了在不同气压条件下，等离子体对相对论返波管和表面波振荡器的输出功率、频率以及起振时间的影响。模拟结果表明，等离子体背景能引起太赫兹波段真空电子器件脉冲缩短，并出现新的频率分量;适当的注入等离子体能减少0.14THz相对论返波管的起振时间，提高器件的输出功率，等离子密度较小时对表面波振荡器影响较小，当密度较大时会对器件是否起振产生一定程度的影响。