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随着科学技术的不断进步以及工业工程的发展,微定位技术已成为科研人员从宏观领域向微观领域扩展研究的一项关键技术。压电陶瓷材料凭借位移分辨力高、不产热、不易受电磁干扰等优点,已成为微定位系统中理想的驱动元件。而驱动电源是驱动压电陶瓷工作的关键部分,本文针对压电陶瓷驱动电源进行了研究和设计。本文研究的内容主要有以下三个方面。(1)建模研究压电陶瓷的驱动特性,归纳出一种预测压电陶瓷驱动特性(电压-位移曲线)的方法；在此基础上,研究了一种补偿压电陶瓷迟滞的算法。实验证明,该预测方法与补偿算法均具有较高可行性和