大泄漏率真空系统气压控制技术研究

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在真空试验设备的研制中,泄漏问题不可避免,尤其是具有特殊功能的试验结构导致的大泄漏问题,严重影响到真空系统的性能指标。因此,对真空系统大泄漏率的密封设计和真空系统气压控制技术研究具有重要研究意义和工程实用价值。本文根据真空试验设备研制需求,通过对密封结构的大泄漏率问题和气压控制技术开展研究,完成了低气压箱研制。具体工作如下:1、分析了大泄漏率真空系统的泄漏特性以及气压控制过程中的非线性、纯滞后性和纯动态特性,完成了专用密封结构设计;进行了真空系统泵组抽速计算及真空泵选型,完成了大泄漏率真空系统方案设计。2、针对之前所选机组,计算了不同真空泵运行时气压随时间的变化函数;通过对密封结构的研究,分析了导线密封带来的泄漏问题;基于静态升压法,完成了整个真空系统漏气量的分析计算;结合泵组抽气模型和系统泄漏模型,得出了整个大泄漏率真空系统的抽、放气模型,为后续气压控制器设计提供了依据。3、针对大泄漏率问题提出了一套可行的多模控制方案,完成了控制器设计及Simulink仿真。仿真分析结果表明,对大泄漏率真空系统而言,相对于纯PID控制或者纯Bang-Bang控制,采用Bang-Bang控制与模糊控制相结合的双模控制方式,控制精度更高,响应时间更快。4、基于所研制的真空试验箱,对系统的抽放气数学模型和气压控制器效果进行试验验证。试验结果表明,系统的抽放气数学模型准确度高,气压控制器的控制效果好,为之后类似的大泄漏率真空气压控制问题提供参考。综上,本文通过对大泄漏率真空系统的分析研究,解决了大泄漏率真空系统建模难的问题,提出了合理的气压控制方案,为大泄漏率真空系统的研制提供依据。
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