非晶薄膜是一种重要的非晶态材料,它优异的性能使其在电子、机械、化工及国防等方面具有广阔的应用前景。非晶薄膜衬底的质量对非晶薄膜的性能具有重大影响。液动压悬浮抛光方法是一种超光滑、无损伤的抛光方法,适用于非晶薄膜衬底的加工,而其基盘的流场特性是影响衬底抛光质量的关键因素。本文采用了理论计算和数值模拟对不同基盘结构进行了研究,运用高速摄影技术观察分析了工作状态下流场中磨粒的运动和分布情况,并运用了多重分形理论对流场中气泡的分布和密集度进行了分析。研究内容主要包括以下几部分：(1)基于液体动压原理,建立了液动压悬浮抛光基盘数学模型,利用理论计算和数值模拟对楔形、L形、抛物线形三种典型的结构化流道产生液体动压的能力进行了对比,分析了浮力与各结构参数的关系。结果表明在抛光过程中,楔形、抛物线形两种结构都能使得基盘浮起,且抛物线形结构上浮能力稍强。(2)研究了液动压悬浮抛光流场特性分形试验方法,搭建了液动压悬浮抛光流场特性分形试验平台。采用高速摄影技术拍摄液动压悬浮抛光的动态流场,为流场特征分析打下基础。(3)采用高速摄影技术对液动压悬浮抛光的动态流场中磨粒的运动和分布进行了分析,分析结果表明：在抛光盘转速小于50r/min时,流场中磨粒分布均匀,具有较好的抛光效果；磨粒流在液动压悬浮抛光基盘流场中的运动符合液体动压原理。(4)基于分形和多重分形理论,利用Matlab软件对液动压悬浮抛光的动态流场中气泡分布和磨粒分布进行了提取,并计算了其多重分形谱,多重分形谱的关联性分析表明：在满足浮力要求下,抛光盘转速越小,磨粒分布越均匀,抛光液连续性越好,抛光效果越好。