太赫兹调制是太赫兹通信的关键技术之一。研制和开发高性能的太赫兹波调制器件,实现对太赫兹波高效的操控是当前太赫兹通信技术发展中迫切需要解决的问题。结合铁电材料所具有的光电响应和瞬态响应特性,本论文以等离子体诱导透明理论为基础,设计并研究了基于铌酸锂及钙钛矿薄膜的太赫兹超材料调制器件。主要研究内容如下:（1）研究了等离子体诱导透明的基本原理,并利用耦合洛伦兹模型解释了等离子体诱导透明调制的原因。另外探究了铁电材料的介电响应理论,为后文分析铌酸锂介电常数在激光泵浦下发生改变的原因提供理论基础。（2）研究了在1064nm激光泵浦下铌酸锂的介电特性及基于等离子体诱导透明的铌酸锂太赫兹超材料调制器。实验结果表明,随着泵浦光强的增大,调制器的透明窗口逐渐减小,透明窗口处的最大调制度达27%。通过耦合洛伦兹模型分析了透明窗口减小的原因,主要是由铌酸锂的光热效应和铁电极化效应引起的。（3）研究了在1064nm激光泵浦下钙钛矿/铌酸锂的调制特性及基于等离子体诱导透明的钙钛矿/超材料/铌酸锂太赫兹调制器。实验结果表明,随着泵浦光强的增大,调制器的透明窗口逐渐消失,透明窗口的最大调制度达77%。通过铌酸锂与钙钛矿薄膜的介电常数分析了透明窗口消失的原因,主要是介电常数的变化影响了超材料结构间的耦合引起的。