光学透射材料是光学材料的重要组成部分,其主要的性能参数包括表面面形、光学厚度变化以及光学均匀性。光学性能参数的不一致将引起透射波前的改变从而降低光学系统的性能,因此实现对光学材料光学参数的高精度测量很有必要。在众多测量方法中干涉测量由于具有高灵敏度、高精度等特点应用最为广泛,然而在测量平行平板类光学元件时,平板的多表面干涉会给光学参数的测量带来困难,因此本课题采用波长移相干涉结合移相算法来实现对目标频率信号信息的精确提取。通过对比常用的测量平行平板的波长移相算法并分析其优缺点,本文提出了基于加权多步波长移相的平行平板光学参数的测量方法。首先结合两步绝对测量法对多表面干涉技术进行了理论研究,然后以特征多项式和特征图原理为基础设计了三组25步移相算法用于对平板的表面面形、厚度变化以及光学均匀性信息进行提取计算,并通过移相算法的评价函数及其傅里叶表达式展示了算法对误差的抗扰度。接着对平板光学参数的测量过程进行了仿真,仿真结果表明该算法能够实现对目标频率信号信息的精确提取。最后通过实验验证,将25步移相算法计算结果与Zygo干涉仪测得的结果进行对比,两者结果基本一致,验证了算法的正确性与可行性。研究表明该算法谐波抑制阶数高,对移相误差以及移相误差和谐波误差之间的耦合误差不敏感,且所需干涉图少,检测效率高,适用于平行平板光学参数的高精度测量。