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液压传动与控制技术在国民经济与国防各部门的应用非常广泛,液压系统与设备在整个装备体系中占有非常重要的地位。液压系统的故障监测与诊断是一项非常重要的项目,而现在的液压技术一般监测系统中的压力、流量特征参数,结合温度、转速等其他参数进行综合诊断,其监测与诊断过程复杂并且难以布置,对故障监测和诊断有一定的局限性。因此,本文开发了一种检测功率特征参数的智能仪表,并且进行了基于功率特征参数的液压故障监测实验研究。本文首先根据本实验室提出了异径管模型,基于MEMS技术制作出功率传感器,继而对功率传感器的