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n型晶硅由于体少子寿命高,对金属杂质的容忍度大,弱光效应好和无光致衰减等优点,近年来在高效率太阳电池领域备受关注。n型晶硅太阳电池的发展呈现多种技术路线齐头并进的特点,现在已经有各类结构的高效n型电池,其中n-PERT结构因可双面发电,制备技术与现有产线兼容性好等优点而备受关注。其推广应用的瓶颈目前主要是其结构中p~+-c-Si发射极和n~+-c-Si背电场的制备技术尚存在不足。通过分析现行各种扩散技术的优缺点,结合我们自身研究基础提出了一种新的扩散技术-热丝气相沉积法(HWCVD)沉积固态源扩散技