随着全球经济的快速发展，环境恶化尤其是各种有毒、有害和温室气体排放导致的空气污染、雾霾等问题日益突出，严重影响了人们的健康和生活质量。进入二十一世纪，随着人们对生活品质提升的关切和物联网技术的快速发展，为气体传感器带来了巨大的市场需求。本文正是在这种背景之下，在国家自然基金面上项目“基于SWNTs/MOF微结构气味检测芯片的敏感机理基础研究”（项目批准号：51275491）和国防重点实验室某基金的共同资助下，对阵列式电阻变化的微结构气体检测芯片的检测原理、结构设计、制备工艺进行研究，并实现了对敏感物质氧化锌薄膜进行了一系列的特性研究。具体的研究内容有以下几个方面：1、在调研国内外微结构气体传感器的发展态势的基础上，并与工艺可行性相结合，设计了一种阵列式微结构气体检测元件。该元件所采集的信号为五组信号，相较于传统的微结构气体传感器采集一组信号，能够有效的增加数据采集量，避免发生因单个信号不稳定而产生信号漂移情况。2、设计出一种环形加热电极结构，并用有限元ANSYS对其进行热分析，发现其加热性能优于目前常用的蛇形加热电极。研究衬底、加热电极以及隔热层的厚度对整体元件性能的影响，最终确定各个部分的具体参数。3、设计出整套的加工工艺流程。在中科院苏州纳米所加工平台的协助下，完成了所设计的微结构气体检测元件的主要工艺研究，突破了射频溅射ZnO薄膜等关键工艺，最终制备出特性优良的ZnO薄膜，并对其进行退火处理。4、利用膜厚仪，AFM，XRD以及四探针测电阻设备对所制备的氧化锌薄膜进行检测与分析，研究不同生长环境与退火条件下对氧化锌薄膜性能的影响。本文实现了微热板阵列式气体检测元件的设计，为样品的制备提供了一定的理论依据，具有重要的意义。