平稳背景下器件成像多余物检测技术

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局限于我国现阶段的工业生产工艺和生产环境,高可靠器件的生产过程中,难免会将各种不属于该器件的多余物封装在器件内部,而形成器件多余物。现阶段对于多余物检测技术的研究主要集中于PIND粒子撞击检测法等方法。本文以人眼视觉显著性理论为支撑,将多余物分类为简单背景下多余物和复杂背景下多余物,提出了基于器件图像显著几何基元特征识别配准的多余物成像检测新方法。本文主要工作包括如下:(1)提出了多余物成像检测系统的七层模型如下:图像输入、图像分类、图像显著几何形状提取、特征提取、几何基元/区域匹配、图像配准/校正和多余物检测七个层次。(2)依据多余物成像检测七层模型,完成了多余物成像检测系统设计。(3)针对三种典型的器件模型:非金属四边形器件、非金属圆形器件、以及显著单直线器件,依据多余物检测七层模型,本文主要研究了三种多余物成像检测模式,圆模式、显著单直线模式和直线集合模式。其中,检测模式主要涉及的算法包括图像显著几何基元的提取算法,图像区域分割算法以及图像配准算法。本文提出了基于显著直线基元的图像配准算法、基于直线段集合的图像配准算法、配准参数校正算法等核心算法。对非金属四边形器件进行了150次测试,非金属圆形器件150次测试,以及显著单直线器件图片进行900次测试,三种器件模型的正确检测概率均超过了90%,同时,测试速度大于1帧/秒,满足了系统设计的功能要求和性能要求。
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