钛酸锶钡薄膜的制备及微细图形加工

被引量 : 1次 | 上传用户：JoanFang

【摘要】

：

钛酸锶钡(BST)薄膜具有较高的介电常数和较低的介质损耗，在动态随机存储器(DRAM)、传感器、探测器等方面应用前景广阔。本文旨在采用Sol-Gel法，通过掺杂Sn元素改善BST薄膜的介电性能，并采用溶胶—凝胶与化学修饰相结合的新技术制得BST薄膜的微细图形。采用紫外—可见光光度仪、X射线衍射仪、LCR数字电桥等手段，分别探讨了光敏性溶胶的感光性、薄膜晶体结构及各种因素对薄膜介电性能的影响，结论如

【作者】

：

姚侠

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2004年03期

【关键词】

：

BST Sn掺杂溶胶-凝胶化学修饰介电性微细加工

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