随着显示技术的不断发展,可折叠、可卷曲的柔性显示屏可能会成为未来显示行业发展的主流。作为柔性显示屏的重要组成部分,柔性薄膜晶体管（Thin Film Transistor,TFT）将面临弯曲、拉伸、扭转等多种形式的机械应力可靠性问题,重复的机械应力会使器件特性发生退化甚至失效,从而降低其使用寿命。因此,研究柔性薄膜晶体管的机械应力可靠性对显示行业来说意义重大。本文研究了柔性低温多晶硅（Low Temperature Poly-Si,LTPS）薄膜晶体管在动态拉伸应力下的典型退化现象,随着拉伸次数的增加,转移特性曲线正漂,开态电流增大,亚阈值摆幅增大。本文分析了内在退化机制,拉伸应力使得靠近栅氧化层/有源层界面的栅氧缺陷增加,这些缺陷能俘获电子,形成固定的氧化层电荷,从而导致阈值电压正漂,开态电流增大,亚阈值摆幅增大与多晶硅层的缺陷态密度增加有关,通过Silvaco仿真发现有源层深能级类施主缺陷态和深能级类受主缺陷态密度均增加。另外,本文系统研究了退化量与沟道尺寸之间的关系,当沟道面积WL在20μm2以内时,ΔVTH比较大,并且随WL的增加随机波动,而当WL大于20μm2时,ΔVTH随着WL的增大而明显减小。微裂纹容易在沟道/栅氧化层界面位置产生,然后进一步向材料厚度方向和沟道宽度方向延伸至沟道或栅氧化层内部,且微裂纹易贯穿小尺寸器件的沟道、栅氧化层或者两者界面,所以导致小尺寸器件的退化较大。TFT失效与器件中出现的损伤或者微裂纹相关,本文重点研究了柔性LTPS TFT在动态拉伸应力下的失效行为,可以分为源漏金属线裂纹失效、沟道缺陷态产生失效和栅氧损伤失效三种模式。对各个失效模式下的累积失效概率所遵循的分布规律进行了拟合,源漏金属线裂纹和沟道缺陷态产生模式下的累积失效概率均满足有限失效总体（The Limited Failure Population Model,LFP）模型,而栅氧损伤模式下的累积失效概率符合指数分布规律,据此可以准确评估TFT的工作寿命。另外,分别统计了不同拉力条件下各个失效模式的累积失效概率,根据四个拉力条件下的累积失效概率统计结果,推断出源漏金属线裂纹失效的临界应变是0.206%,略小于沟道缺陷态产生失效的临界应变0.210%,而栅氧损伤失效的临界应变大约在0.258%～0.287%范围内,表明TFT失效的主要原因是源漏金属线裂纹失效和沟道缺陷态产生失效。