本论文的研究工作是围绕以任晓敏教授为首席科学家的国家重点基础研究发展计划(973计划)项目“新一代通信光电子集成器件及光纤的重要结构工艺创新与基础研究”(项目编号:2003CB314900)中课题1“单片集成光电子器件的异质兼容理论与重要结构工艺创新”(项目编号:2003CB314901);国家自然基金重点项目“GaAs、InP基功能楔型结构材料工艺研究及在新型光电子器件中的应用(延续)”(项目批准号:90601002);“高等学校学科创新引智计划资助”(Supported by the 111 Project)第二批建设项目:“通信与网络核心技术创新引智基地”项目(项目编号:B07005)以及教育部“长江学者和创新团队发展计划”资助(No.IRT0609)展开工作的。随着信息技术的不断发展,光纤通信技术在不断的向高速的方向演进。作为光纤通信系统核心器件——光探测器,它的各种参数,包括暗电流、光电转换效率、频率响应特性、非线性特性等,都需要进行精确的测量和分析,来进一步指导光探测器的设计。本论文围绕光探测器芯片的基本参数测量及光探测器频率响应测量的两种最普遍的方法——矢量分析仪法和光外差法进行了理论上的分析及相关的实验验证,取得的成果如下:1.总结分析了光探测器芯片的各种重要参数,包括Ⅰ-Ⅴ特性、暗电流、光电转换效率、频率响应特性的定义及相应的测试方法,特别是通过测量结果分析出光探测器性能影响。2.对光波器件分析仪法测量光探测器频率响应的原理进行推导分析,得到光探测器S参数的意义。分析了光波器件分析仪法的校准方案,并用此法对实验室研制的PIN光探测器进行了测试。并基于测试结果完成光探测器小信号模型的参数提取。3.通过实验证明了光外差法测量光探测器频率响应特性的一种校准方法的有效性。首先根据光外差法的基本原理推导了光探测器频率响应的表达式。发现了激光器调谐过程中的输出不稳定性是影响光外差法测量光探测器频率响应特性结果准确性的主要原因。通过实验逐一比较了采用与没有采用相应校准方法的结果,验证了该校准方法的有效性。4.在光外差法测量光探测器频率响应特性实验过程中观测到了光探测器的非线性现象。通过对光探测器非线性模型进行分析,得到光探测器非线性主要原因是探测器载流子的速率和扩散常数与载流子的密度有关,得到的结论证明观测到非线性现象的正确性。5.搭建了测量外延片透射/反射谱测试平台和光谱响应测试装置,使用C#语言并基于VISA接口技术开发出自动测试平台,提高了实验室测试项目的效率和精度。