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光学零位干涉测试是一种相对测量方法,已经广泛应用在光学元件的高精度检测中。为了消除包括参考面误差在内的系统误差,进一步提升检测精度,绝对检测技术被用于获得待测光学元件的绝对面形。传统的三面互检法等绝对检测方法通常需要对待测件进行大幅度的翻转或旋转,给检测过程中带来不可避免的位置匹配误差,影响测量精度。为了实现待测件面形的绝对检测,避免传统绝对检测方法中待测件的大幅度移动带来的位置匹配误差问题,本文研究基于零位干涉的微小位移共轭差分光学面形绝对检测技术,主要研究内容如下:针对传统平面绝对面形检测中待测