【摘 要】
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在红外探测技术飞速发展和广泛应用的今天,红外敏感元的研究具有重大的实用价值和巨大的经济效益。本文主要研究的PZT(锆钛酸铅)晶片敏感元就是红外敏感元的一种。本文推导了
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在红外探测技术飞速发展和广泛应用的今天,红外敏感元的研究具有重大的实用价值和巨大的经济效益。本文主要研究的PZT(锆钛酸铅)晶片敏感元就是红外敏感元的一种。本文推导了PZT晶片敏感元的理论模型,进而分析了PZT晶片的厚度、宽度以及吸收层的面积对PZT敏感元输出的影响,并且将标准器件参数代入理论公式验证了理论推导的正确性。通过PZT晶片敏感元的分析(其中包括组分,表面形貌,结构,封装集成等)进而指导实际的制作加工。通过PZT晶片敏感元的热释电系数测试方法的分析,进而采用动态测试系统对PZT晶片敏感元的性能进行了测试,发现PZT晶片敏感元的响应输出与光波的调制频率有关,是一个带通信号,其主要影响因素分别是高频和低频噪声。最后,设计和分析了PZT晶片敏感元在气体检测中的应用。
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